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上海华岭集成电路技术股份有限公司

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自动探针台

  • 制造厂商:东京精密电子
  • 购置日期:2013-11-26
  • 型号:UF3000LX
  • 生产国别:
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仪器详情
  • 功能/应用范围: 可以提供OCR 标识自动识别,程序控制、自动机械走步,兼容12 英寸/8 英寸晶圆
  • 主要附件: HF、Clean Unit、Barcode
  • 主要技术指标: 综合精度:3.6um 适用晶圆尺寸:8英寸、12英寸 温度范围:常温 ~ 150℃ X/Y轴最大速度:500mm/sec
  • 技术特色: 可以提供OCR 标识自动识别,高低温机械走步,兼容12 英寸/8 英寸晶圆,可以提供晶圆级高温测试。