分析精度：1pppm。

分析速度：≥10个元素/min。

动态范围：≥106。

波长范围：160nm~900nm或包含以上范围全波长覆盖

像素分辨率：≤0.003nm。

在200nm处光学分辨率≤0.007nm。

在200nm处元素分析范围：铍~铀。

杂散光：10000ppm。

背景杂散光强度相当As的浓度＜3ppm。