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  • 服务简介: 原子力显微镜(AFM)使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描，通过检测针尖在样品表面信号变化得到样品表面信息。其能够在大气环境下准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌，如样品表面粗糙度、沟道深度和宽度等；同时可以对样品表面进行纳米尺度的刻蚀和加工。在半导体技术研发、工艺改进、品质控制和失效分析等方面有广泛应用。
    主要附件： 210mm真空样品台 Dimension ICON专用减振台 FIB 探针 RTESP 探针 DNP-10 探针

    主要技术指标： 测量模式： 接触模式 (Contact Mode) 轻敲模式 (Tapping Mode) 相位成像模式（Phaseimaging） 抬起模式 (Lift Mode) 横向力/摩擦力显微镜 (LFM) 

    扫描视场范围： 最大：90µm x 90µm x 10µm (X，Y，Z) 噪声水平： ≤0.3 Å Z方向噪声水平： 开环控制< 0.3Å 闭环控制： < 0.35 Å（图象测试）

     XY方向噪音水平： 开环控制< 0.1nm 闭环控制： < 0.15nm 测量平台： 210mm真空样品台（可放置300mm硅片）

    可扫描测量面积： 180mm x 150mm

    技术特色： 此系统Dimension Icon为目前市场上最新的、技术成熟的商品化型号， 跟其他同型号的仪器相比，其高分辨率和低噪音水平，软件功能的强大和可扩展性都是业内一流。