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- 服务简介: Olympus（奥林巴斯）生产的MX61L半导体检查显微镜，具有高倍率（目视可达10000倍，电子成像可达50倍），大数值孔径0.9，可通过明暗视场法，保证卓越的图像分辨率和鲜明度。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本，如300mm硅片。
主要附件： 相机 Panasonic 附件 显微视频测量系统
主要技术指标： 最大Wafer尺寸： 300mm 光学系统： UIS2光学系统（无限远校正） 照明： 透射，100W卤素灯泡 明暗场： 明场，暗场Optional 对焦： 手动 目镜： 100x 物镜： 电动五孔转盘,现有物镜 1.25x，5x, 20x, 50x,100x 数值孔径： 最高可达0.9 成像透镜： 0.5x 载物台行程: 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm 外形尺寸： 710（W）×843（D）×507（H）mm
技术特色： 配备了PC界面，可以读取保存电子图像，另带视频测量系统，可对样本细节进行各种规格的测量。
