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  • 适用范围：MEMS成品测试，用于MEMS传感器量产测试
  • 服务简介:

    MEMS成品测试系统是专用于MEMS传感器+ASIC电路封装后的测试系统，该系统集合了3轴旋转，3轴翻转及3轴电磁激励、温度控制等功能，也可转换为Inbaro模式。可对成品级陀螺仪、加速度计、磁传感器、压力传感器、温度传感器等进行封装后测试。

    结合ATE测试设备可提供测量MEMS器件的关键参数，零位输出、噪音、灵敏度、跨轴灵敏度、线性度、温漂等。并可对产品的误差值进行调校，满足产品供货需求。



    MEMS成品测试系统具有以下优点：

    -自动上下料
    -多达144个工位并行测试
    -集陀螺、加速计、磁力计9DOF测试于一体
    -可支持从1mmà5mm大小的封装尺寸
    -Kelvin接触方式
    -提供三温测试环境
    -快速压力生成设定<2S
    -<1/10000器件卡料率

  • 样品要求：成品级MEMS传感器、陀螺仪、加速度计、磁传感器、压力传感器、温度传感器等