上海工研院提供MEMS晶圆测试服务

可测试的器件类型有：加速度计、陀螺仪、硅麦克风和压力传感器等

可测试的参数包括：

漏电流

电容

其它静态参数

谐振频率

品质因素

阻尼系数

正交误差

其它动态参数

主要设备： STI3000全自动探针台

设备介绍：

通过STI3000全自动探针台，提供晶圆的接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电

平测试、全面的功能测试、全面的动态参数测试以及模拟信号的参数测试等。

STI3000晶圆探针台的主要特征参数：

Wafer Size Range: 75mm - 150mm

Cassette to Cassette

Temperature Control Chuck optional

Automatic Alignment

OCR Camera

Dimensions: 53" x 32" x 56"

Weight: 770 lbs