设备能力：

温度：10 ℃ ~ 65 ℃

湿度：30% RH~ 98%RH

臭氧浓度：低浓度20 pphm ~500 pphm

                    高浓度5 ppm ~500 ppm

样架转动速率：20 mm/s ~25 mm/s

夹具伸长率：0~100%

最大内箱尺寸： 600 x 600 x 700