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晶圆测试仪
- 制造厂商：TOKYO SEIMITSU CO.,LTD
- 购置日期：2008-11-01
- 型号：UF 200A
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 主要用于5寸 6寸 8寸晶圆的测试
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 晶圆尺寸：5寸 6寸 8寸
综合精度：4um以内
X-Y轴速度：200mm/s
Z轴速度：35ms/0.5mm行程
硬盘：3.5英寸 4.5GB 1台标准配备
压缩空气：0.4Mpa以上
- 技术特色： 5寸 6寸 8寸晶圆的测试
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