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表面形貌测试仪
- 制造厂商：美国Veeco公司
- 购置日期：2001-01-01
- 型号：Dektak 6M
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 台阶仪是一维的力反馈式计算机控制的表面形貌分析仪，具有台阶测试、形貌检测和应力分析等功能。在形貌检测上，能够给出一维曲线的表面粗糙度、峰态、曲率半径等参数。应力分析的基本测试原理是通过获得沉积薄膜前后晶圆表面的曲率半径差而获得。计算机中的软件提供相应的曲线处理功能，如置平、平均、台阶校准和应力计算等。
- 主要附件： 计算机处理系统
- 主要技术指标： 主要指标：1． 测量的高度分辨率为0.1nm。2． 最大扫描长度3cm。3． 台阶的测量有6.5 ，65.5 ，260 和1mm四个量程。4． 测试的力载荷从1mN到15mN。
- 技术特色： 能进行薄膜应力测量
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