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椭偏仪
- 制造厂商：SOPRA
- 购置日期：2002-06-24
- 型号：GES5FTIR
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 利用激光光源发射出单色光和红外线，经起偏器后变成偏振光，在样品表面反射后，光的振幅和位相发生变化，由此来测量Si衬底上薄膜的厚度。
- 主要附件： 打印机一台，电脑一套。
- 主要技术指标： 1. 可见光分光计（UV-Visible）
焦距：750mm；标准光谱范围：210-900nm；离差为550nm：0.45nm/mm；波长准确度0.04nm到313nm；在10nm的放射光下，偏离光小于0.01%。2. 近红外项目（NIR 3 OPTION）
能借助分光镜完成测量，能测的近红外转换光谱范围从0.9微米到2.0微米；利用电子学和光学插件模块对近红外测量进行支持。3. 红外变角度傅立叶变换椭偏法（FT-IRSE OPTION）光谱范围:1.44微米到17微米；光谱精确性：±0.2c
- 技术特色： 多层透明薄膜测量，最多达7层。
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