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微纳功能器件表征系统
- 制造厂商：Polytee GmbH公司
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：OFV-534/5000
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 主要用于振动测试，适用微观和纳米技术、光伏/太阳能和半导体、生命科学，生物医学、材料研究与机械工程等领域。
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 激光光源：HeNe激光，波长633nm；激光光斑小于25微米。速度量程: ±10m/s；最小速度分辨率:≤ 0.02微米/秒/HZ带宽；最小位移分辨率:15pm。
- 技术特色：
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