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离子束分析系统
- 制造厂商：上海三井真空设备有限公司
- 购置日期：1990-11-23
- 型号：4MV-01
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 卢瑟福背散射(RBS)技术是固体表面研究不可缺少与不可替代的分析手段，用于薄膜成份分析，背散射分析具有快速、定量、无损等特点，同时能多元素分析。主要分析项目为：
1.薄膜组成成份/厚度
2.区域浓度测定
3.薄膜密度测定（已知厚度）
- 主要附件： 0
- 主要技术指标： 1、信号检测 ：背散射粒子
2、元素检测 ：B-U
3、分析灵敏度：1 %～0.1 %
4、深度辨析率： 50 - 200 Å (±10 Å 精确度)
- 技术特色： 0
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