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射频探针台
- 制造厂商：卡斯科德
- 购置日期：2018-05-24
- 型号：EPS150RF
- 生产国别：德国
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- 功能/应用范围： 毫米波测试，设备描述测试，晶圆级别稳定性测试，在线测试良率提升，射频测试，适合科研及半导体微电子器件的失效分析。
- 主要技术指标： 1.载物台X-Y方向移动范围：155x155mm（6in.*6in.），分辨率：5 μm
2.Z方向移动范围：10 mm
3.显微镜倍率：150倍
4.Theta自旋方向移动范围：360°，分辨率7.5*10-3 gradient
5.定位器分辨率：2μm
6.显微镜系统移动方式：气动
7.功能：彩色成像，可进行图像处理，总放大倍率大于500倍
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