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光电子能谱仪

  • 制造厂商：日本慎空
  • 购置日期：2007-10-20
  • 型号：PH1500C
  • 生产国别：
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仪器分类

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仪器详情
  • 功能/应用范围： 分析样品近表面（5nm）和本体的元素组成，化学态。对多种价态元素，可以自动分峰拟合，并给出不同价态之间的原子比。可进行最小10μm范围的微区分析。
  • 主要附件： 无
  • 主要技术指标： 1.能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。 2.通过Ar离子枪，可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。 3.可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。 4.最低能量扫描进度可以达到0.025 eV，元素含量分析最低值为千分之五。
  • 技术特色： 在测量方面能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。 同时，通过Ar离子枪，可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。 可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。最低能量扫描进度可以达到0.025 eV，元素含 量分析最低值为万分之五。在数据后处理方面，可以对样品电子结合能进行自动校正及可 能价态分析。对多种价态元素，可以自动分峰拟合，并给出不同价态之间的原子比。同时 可进行最小10μm范围的微区分析。