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中国科学院上海微系统与信息技术研究所射频组中科院微系统所射频组

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微波探针台

  • 制造厂商:Cascade Microtech
  • 购置日期:1999-06-01
  • 型号:Summit 12740
  • 生产国别:
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仪器详情
  • 功能/应用范围: 可应用于高低温情况下的微波毫米波芯片的手动测试和直径小于等于6英寸的晶圆的半自动测试
  • 主要附件: 微波探针、直流偏置探针、同轴线、充气机、空气压缩机、防震台、变温控制箱。
  • 主要技术指标: 测试频率DC-50GHz;工作温度可调范围-65℃-200℃;平台直径6英寸;微波探针间距(150μm-200μm);直流探针间距(150μm)。
  • 技术特色: 具有MMIC的设计、制作和测试经验,具有微波毫米波模块研制和系统集成及毫米波系统的测试技术和经验。