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上海集成电路研发中心有限公司测试实验室上海集成电路研发测试实验室

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集成电路测试栅氧化层

检测能力
  • 与时间相关介质击穿
    能力名称：与时间相关介质击穿
    一级类别：
    二级类别：
    标准名称/编号：1..超薄栅介质与时相关截止击穿测试程序2.外包工艺线质量指南/1.JESD92:20032.JEP001A:2014
    限制说明：
    资质说明：
  • 栅氧完整性
    能力名称：栅氧完整性
    一级类别：
    二级类别：
    标准名称/编号：1.薄电介质的晶圆级测试程序2.外包工艺线质量指南 1.JESD-35A:2001/2.JEP001A:2014
    限制说明：
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检测能力 检测标准 标准编号 限制范围 资质说明
与时间相关介质击穿 1..超薄栅介质与时相关截止击穿测试程序2.外包工艺线质量指南 1.JESD92:20032.JEP001A:2014
栅氧完整性 1.薄电介质的晶圆级测试程序2.外包工艺线质量指南 1.JESD-35A:2001 2.JEP001A:2014