设备不但能进行低电压超高分辨的电镜观察；也能利用FIB对试样进行切割、加工、沉积，从事内部和截面观察及全静态三维表征，以及特定图形加工工作

SEM分辨率： 0.7nm @ 15kV(COF)、1.0nm @ 15kV 1.0nm @ 1kV(COF)、1.4nm @ 1kV FIB分辨率：2.5nm @ 30kV FIB束流：1pA～50nA 探测器： 样品室和镜筒内二次电子探测器 样品室和镜筒内背散射电子探测器 质谱质量分辨率：>800 质谱探测极限：3ppm 质谱空间分辨率：40nm(水平方向)                3nm(深度方向)   附件：能谱仪(EDS)、EBSD

送检样品必须为干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状均可。应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。