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扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。
当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域
将产生二次电子、X光信号、背散射电子、透射电子,
以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。根据
信号强度组成形貌照片,能高倍率观察表面外观形貌。
原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测
样品本身的各种物理、化学性质的信息。