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采用辉光放电光谱仪进行单一或复合金属镀层(几个纳米至100微米)的定量表面分析,提供不同元素浓度从镀层到基体变化完整的谱图,计算获得镀层厚度、镀层质量和镀层平均浓度等分析数据。也可采用电解或化学处理法从材料基体分离镀层材料,通过重量法、容量法和电感耦合等离子体光谱进行镀层成分的定量分析。