服务简介
Olympus(奥林巴斯)生产的MX61L半导体检查显微镜,具有高倍率(目视可达10000倍,电子成像可达50倍),大数值孔径0.9,可通过明暗视场法,保证卓越的图像分辨率和鲜明度。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本,如300mm硅片。
主要附件: 相机 Panasonic 附件 显微视频测量系统
主要技术指标: 最大Wafer尺寸: 300mm 光学系统: UIS2光学系统(无限远校正) 照明: 透射,100W卤素灯泡 明暗场: 明场,暗场Optional 对焦: 手动 目镜: 100x 物镜: 电动五孔转盘,现有物镜 1.25x,5x, 20x, 50x,100x 数值孔径: 最高可达0.9 成像透镜: 0.5x 载物台行程: 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 外形尺寸: 710(W)×843(D)×507(H)mm
技术特色: 配备了PC界面,可以读取保存电子图像,另带视频测量系统,可对样本细节进行各种规格的测量。