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X射线光电子能谱仪
- 制造厂商：Thermo Fisher
- 购置日期：2010-07-08
- 型号：K-Alpha
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 1.固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样深度为～10nm
2.元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）
3.可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析）
- 主要附件： 1、单色化（AlKa）X射线源；
2、能量范围500eV-3000eV的离子枪；
3、自动化电荷中和源；
4、角分辨XPS；
5、半球形能量分析分析器；
6、真空系统。
- 主要技术指标： 1、分析室极限真空度优于5*10^(-9)；
2、角分辨XPS角度分辨优于1度；
3、束斑30-400微米连续可调；
4、能量分辨率优于0.5eV;
5、束斑为400微米时，Ag3d5/2峰半高宽优于1ev时,计数率大于等于1000000cps.
- 技术特色： K-Alpha光电子能谱仪，该系统能够进行单色化XPS、微区XPS、深度剖析XPS、角分辨XPS。可进行无损检测,分析的样品表面厚度一般为1-10nm（其中对于金属样品为3-5nm）。
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