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原子力显微镜
- 制造厂商：Veeco
- 购置日期：2009-06-08
- 型号：Dimension 3100
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 具有接触、轻敲等多种工作模式，可用来测量半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性，如粗糙度、形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和磁/电场分布等等。
- 主要附件： •NanoScope IIID扫描探针显微镜控制器
•Quadrex E型号定量相位成像模块
•Dimension 3100扫描探针显微镜主系统
•Dimension SPM扫描探针显微镜扫描头 (标准模式及应用模式兼容)
•标准150mm (6英寸) 真空吸盘
- 主要技术指标： 1.主要的AFM成像技术和工作模式包括接触，非接触，轻敲模式（空气中)等。在增加附件后，还可做扫描隧道显微镜，力调制模式(空气和液态中)，轻敲模式(液态中)，纳米压痕/刻划，扫描电容显微镜等模式。
2.扫描范围：90um×90um×5um
3.样品尺寸：150mm×150mm×15mm
4.噪声水平：≤0.5Å
5.由马达驱动的光学聚焦/缩放，从285倍到1285倍(150-675µm的可视范围)，1.5µm的分辨率，计算机控制照明。光学组件可根据系统配置改变。
6.平
- 技术特色： 表面粗糙度、形貌和深度的测量
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