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中国科学院上海技术物理研究所中科院上海技术物理研究所

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红外光谱型椭偏仪

  • 制造厂商：Sopra公司/SEMILAB
  • 购置日期：2011-12-09
  • 型号：GES5E
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 半导体、化合物半导体（GaAs/SiC）、LCD及MEMS领域，光学薄膜
  • 主要附件： 主机，样品台，NICOLET-A380
  • 主要技术指标： 分光系统：光栅模式，迈克尔逊干涉仪； 测量范围：2 μm-25μm； 光谱扫描精度：优于0.05nm； 可变角测量：8到90度； 光束直径：1mm-8mm。
  • 技术特色： Sopra公司是世界上最知名的椭偏仪设备供应商，其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体（GaAs/SiC）、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前，全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业。