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高分辨双束场发射扫描电子显微镜
- 制造厂商：ZEISS
- 购置日期：2010-07-13
- 型号：Auriga
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 1. 各种固态样品表面形貌纳米级别的二次电子象、背散射电子象观察及图像处理
2．样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量化学组分分析
3．使用FIB（focused ion beam）进行样品加工后，内部结构形貌及成分分析
- 主要附件： 牛津电制冷能谱仪Inca-X-MAX 50mm大面积探测；液态Ga离子源可进行样品加工；80mmAirlock空气锁快速进样系统
- 主要技术指标： 分辨率：1.0nm@15KV ；1.9nm@1KV
- 技术特色： 可直接对非导电样品表面进行形貌观察，并配置液态Ga离子源FIB聚焦离子束可对样品加工，直接分析样品断面的形貌。
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