只有通过实名认证的机构用户,才可以进入管理后台哦。
双束聚焦离子束显微镜
- 制造厂商：FEI
- 购置日期：2012-05-10
- 型号：DB237
- 生产国别：
免费咨询
- 功能/应用范围： 芯片失效分析及线路修补
- 主要附件： EDAX
- 主要技术指标： 加速电压：30KV;
电子束放大倍率：200K;
离子束放大倍率：50K;
电子束高真空：<4e-10;
离子束高真空：5e-6;
样品最大尺寸：4*4cm
- 技术特色： 其工作原理：利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割，用FIB系统的粒子束从液态金属离子源中引出。在离子柱顶端外加电场于液态金属离子源，可使液态金属或合金形成细小尖端，再加上负电场牵引尖端的金属或合金，从而导出离子束，然后通过静电透镜聚焦，经过一连串可变化孔径可决定离子束的大小，而后用E×B质量分析器筛选出所需要的离子种类，最后通过八极偏转装置及物镜将离子束聚焦在样品上并扫描，离子束轰击样品，产生的二次电子和离子被收集并成像或利用物理碰撞来实现切割或研磨。另外也可利用成像系统进行电镜观察及通过气体注
收藏仪器
