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IC芯片线路缺陷检测仪
- 制造厂商： HAMAMATSU
- 购置日期：2012-04-26
- 型号：uPhemos-200
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： OBIRCH可用于IC芯片内部高阻抗及低阻抗分析, 线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法，可以有效地对芯片线路中的缺陷进行检测定位，如线路线条中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻区等；也能有效的检测短路或漏电，是发光显微技术的有力补充。
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 无
- 技术特色： 用激光束在IC芯片或其它电子元器件表面扫描，激光束的部分能量转化为热量。如果互连线中存在缺陷就会有空洞，这些区域附近的热量传导不同于其他的完整区域，将引起局部温度变化，从而引起电阻值改变ΔR，如果对互连线施加恒定电压，则表现为电流变化ΔI=(ΔR/V)I2,通过此关系，将热能引起的电阻变化和电流变化联系起来。将电流变化的大小与所成像的像素亮度对应，像素的位置和电流发生变化时激光扫描到的位置相对应，这样就可以产生OBIRCH像来定位，从而得到芯片的缺陷位置所在。
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