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探针台
- 制造厂商：Cascade Microtech
- 购置日期：2013-10-21
- 型号：MPS150
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 微米级电子器件的性能测试
- 主要附件： positioners and probe card
- 主要技术指标： Chuck stage: travel 155 mm x 155 mm; resolution 5 um; load stroke Y axis: 90 mm; Z height adjustment range: 10 mm; Theta travel 360 degree
- 技术特色： 精确测量
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