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埃文思材料科技（上海）有限公司埃文思材料科技(上海)

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单束聚集离子束显微镜

  • 制造厂商：Micrion
  • 购置日期：2006-08-15
  • 型号：Micrion 9500
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 主要采用集成电路设计过程中的电路修补，并可完成小区域纵向截面分析
  • 主要附件： 无
  • 主要技术指标： 分辨率4nm,最大可载入8inch wafer
  • 技术特色： 可承接>=40nm工艺制程的集成电路芯片的修补