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中国科学院上海光学精密机械研究所中科院上海光学精密机械研究所

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ZYGO 干涉仪

  • 制造厂商:ZYGO公司
  • 购置日期:2000-03-01
  • 型号:GPI
  • 生产国别:美国
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仪器详情
  • 功能/应用范围: 测量光学元件表面面形及透过波面。
  • 主要附件:
  • 主要技术指标: 可测元件口径:Ф10~Ф300;标准镜精度:PV λ/20;重复性:△PV<0.020λ。
  • 技术特色: 具有丰富的光学元件检验测量经验,提供高精度光学元件检测。