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中国科学院上海光学精密机械研究所中科院上海光学精密机械研究所

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ZYGO轮廓仪

  • 制造厂商：ZYGO公司
  • 购置日期：1995-03-01
  • 型号：Maxim 3D 5700
  • 生产国别：美国
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 可对光学元件、陶瓷、金属等表面粗糙度的测量。
  • 主要附件： 2R粗糙度标准块
  • 主要技术指标： 最小垂直分辨率：0.5A；最小横向分辨率：0.48～19.3μm（取决于物镜）；数据采集时间：220ms；可测最大高度：40000nm；数据点/区域：约60000；视场：69μm～6.9mm正方（取决于物镜）；可测样品反射率：4％～100％。
  • 技术特色： 具有丰富的光学元件等检验测量经验，提供高精度光学元件等检测。