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双束型聚焦离子束显微分析系统
- 制造厂商：FEI HONGKONG CO.,LTD
- 购置日期：2011-12-18
- 型号：Helios 600i
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 纳米级加工及观测研究。
- 主要附件： 仪器配备以下主要附件：
1.新一代Elstar极靴内探测器（TLD）
2.ETD二次电子探测器
3.Omniprobe AutoProbe 200.2 机械手
4.铂沉积气体注入系统
5.内置式等离子清洗系统
6.英国OXFORD公司INCA MX80-EDS
- 主要技术指标： 1.电子束系统分辨率：0.9nm（15kv）/1.4nm（1kv）
2.离子束系统分辨率：在束交叉点：4.5nm@30kV（统计测量法）
在束交叉点：2.5nm@30kV（单边测量法）
3.电子束加速电压：350V-30kV
4.离子束加速电压：0.5-30kV
5.电子束流：≤22nA
6.离子束流：1pA ？C 65nA
- 技术特色： 1.定位加工TEM样品
2.定位加工针尖样品
3.电镀沉积
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