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He 检漏仪
- 制造厂商：美国Varian
- 购置日期：2003-03-11
- 型号：947
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 本设备提供细检漏，采用氦气作为检测媒介。首先，封装好的器件在一压力容器内经氦气加压，经过规定时间后取出放入本设备的真空室内，氦质谱仪即可通过氦气的流量测得器件的漏率。本设备精度高，测试结果可信，操作简便产量高，是气密封装工艺不可缺少的辅助设备。
- 主要附件： 基础图，布线说明，电气接线图，易损零件制造图，零件目录，品质保证书，安装、操作和维修说明书。
- 主要技术指标： 1. 检漏精度：2×10-10atm×cc/sec。2. 腔体尺寸：4英寸内径1英寸深。
- 技术特色：
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