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中国科学院上海微系统与信息技术研究所一室(微系统平台)中科院微系统所一室

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三维表面形貌测试仪

  • 制造厂商：美国Veeco公司
  • 购置日期：2004-07-21
  • 型号：ＮＴ－2000
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： WYKO ＮＴ－2000表面轮廓仪适用表面高度和表面粗糙度的使用，使用相位移干涉(PSI)和垂直扫描干涉(VSI)两种技术方法，测量宽范围内的表面高度非接触光学设备。1.相位移干涉(PSI)测量方式可以测光滑的表面；2.垂直扫描干涉(VSI)方式可以测试粗糙的表面和台阶。VSI采用计算处理来自强度信号的干涉条纹的调制数据，以计算表面高度；PSI采用计算处理来自强度信号的相位数据得到表面的高度。
  • 主要附件： 2.5X，10X，50X显微镜镜头。
  • 主要技术指标： 使用PSI测量台阶高度在160nm。使用VSI测量高度500m的台阶；PSI能够准确测量均方根值小于3A的光滑表面。
  • 技术特色： 非接触测量，不损伤样品，精度高。