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中国科学院上海微系统与信息技术研究所一室(微系统平台)中科院微系统所一室

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激光光绘机

  • 制造厂商：lachine.P.Q.,CANADA
  • 购置日期：2003-05-18
  • 型号：Escher-Grad
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： Escher-Grad光绘仪是集成电路掩模图型制作的重要工具，它可对PROTEL、CAD文件进行GERBER，然后将 GERBER文件和TIF文件传输给机器，光绘出图。它的特点是出图快，图形精度高。
  • 主要附件：
  • 主要技术指标： 1 菲林最大尺寸：26"×30"。
    2 菲林厚度：4--7mil。
    3 图形精度：2000--8000dpi。
    4 最小线宽：40μm。
  • 技术特色： 本平台设备齐全，有专业的技术人员，能提供电子封装的全套服务。