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激光干涉仪
- 制造厂商：ZYGO
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：DYNAFIZ
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 激光干涉仪包含两台仪器，DynaFiz 和 ZeGage，两台仪器独立工作。DynaFiz用于非接触式测量平面度，仅当面粗糙度小于50nm时才能使用其测量得出结果。 ZeGage光学轮廓仪用于3D形貌定量测量，和精密机械表面粗糙度检测。非接触式测量使测量过程中不会对测量面造成任何损伤。百万像素的高分辨率图形传感器可以在几秒时间内进行快速面测量，并给出优秀的表面细节成像。
测量各种材料的面形，提供各种参数，包括表面结构，面形和台阶高度等等的2D和3D 图形。
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 表面定量计量精度：纳米级
- 技术特色： 0
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