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冷场发射扫描电子显微镜
- 制造厂商：日立公司
- 购置日期：2012-03-01
- 型号：SU-8010
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： Hitachi SU-8010场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 1. 优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.3nm；
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品；
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像；
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。
- 技术特色：
收藏仪器
