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场发射聚焦离子束电子显微镜
- 制造厂商：FEI
- 购置日期：2016-08-09
- 型号：Hellios G4 UX
- 生产国别：美国
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- 功能/应用范围： SEM
EDS
EBSD
微纳加工
透射电镜制样
- 主要附件： EDS、EBSD、纳米机械手
- 主要技术指标： Ion beam system
Sourece：liquid Ga；
Resolution：≤2.5nm @ 30kV
GIS system
Pt、C、W、SiO2
SEM system
Schottky thermal field emmision gun（ZrO/W）
Resolution: ≤0.6nm @ 15kV, ≤0.7nm @ 1kV, ≤1.0nm @ 500V
STEM resolution：≤0.6nm @ 30Kv
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