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扫描电子显微镜-能谱仪

  • 制造厂商：SEM： JEOL；EDS： Oxford
  • 购置日期：2001-06-18
  • 型号：SEM：JSM－5600LV； EDS：IE 300 X
  • 生产国别：
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仪器分类

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仪器详情
  • 功能/应用范围： 固体样品表面微区形貌观察；材料断口形貌及其内部结构分析；微粒或纤维形状观察及其尺寸分析；固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。
  • 主要附件： SEM：二次电子探测器，背散射电子探测器；EDS：Si(Li)超薄窗；X射线探测器，全数字化脉冲处理器；喷金仪，喷碳仪。
  • 主要技术指标： SEM：高真空分辨率3.5nm，低真空分辨率4.5nm;SEM: 放大倍数范围18-300,000；EDS：Mn的Kα处的分辨率优于132eV；可测元素范围4Be-92U。
  • 技术特色： 材料断口分析，纤维材料形貌观察及鉴别，固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。