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扫描成像隧道电流测试系统
- 制造厂商：德国Bruker Nano Inc.公司
- 购置日期：2017-03-01
- 型号：Dimension ICON-PFTUNA
- 生产国别：美国
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- 功能/应用范围： 1) 研究氧化物半导体薄膜、铁电薄膜及其纳米结构材料中的表面结构及形貌特征；
2) 研究二维层状材料及其相关异质结构的微区电流特性；
3) 研究基于以上低维材料构筑的晶体管特性，获得掺杂结构的对比度等；
4) 对各种半导体和非半导体材料的传导率进行成像等。
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 1) 分辨率：原子级台阶；
2) 扫描范围：35μm x 35μm x 3μm；
3) 最大扫描速度：125 Hz 且图像无变形；
4) 大样品及开放光路。
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