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扫描电镜飞行时间二次离子质谱联用仪
- 制造厂商：泰思肯公司
- 购置日期：2017-06-06
- 型号：GAIA 3 GMU FIB-TOF-SEM
- 生产国别：捷克
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- 功能/应用范围： 用于固体材料（主要是金属，半导体，岩石及生物样品等）的截面加工，透射电镜（TEM）试样的制备及表面形貌观察。
- 主要附件： 高亮度肖特基灯丝电子枪，离子枪，透镜内二次电子探头，5轴马达驱动样品台，闪烁体可自动伸缩式背散射电子探头，TOF-SIMS 飞行时间二次离子质谱，探测器：样品室和极靴内各有一个SE和BSE，共四个探测器。四个探测器可以同时扫描成像，并且样品室BSE探测器为可移动式。操作面板：配备多功能操作面板和5KW UPS等等
- 主要技术指标： 1、电子枪最大束流：400nA
2、高真空分辨率：
0.7nm @ 15kV (SE)，
1.2nm @ 1kV (BSE)，
0.8nm @ 30kV (STEM)
3、离子枪最大束流： 50nA
4、 离子枪分辨率：在SEM-FIB重合点位置上，优于2.5nm @ 30Kv
5、飞行时间二次离子质谱探测器的空间分辨率：水平方向优于50nm，深度方向优于15nm；质量数范围不小于1~2500；质量分辨率>800; 可测H、Li 等元素
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