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扫描式电子显微镜
- 制造厂商:日本日立
- 购置日期:2012-01-19
- 型号:Hitachi S3400N
- 生产国别:日本
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- 功能/应用范围: 材料的表面形貌观察,成分以及晶粒尺寸取向分析
- 主要附件: 能谱仪EDS
背散射衍射EBSD
- 主要技术指标: 二次电子(SE)分辨率:3.0nm (30kV),高真空模式;10nm (3kV),高真空模式。
背散射电子(BSE)分辨率:4.0nm (30kV),低真空模式。
放大倍率:×5 ~ × 300,000。
加速电压 0.3 ~ 30 kV 。
低真空范围:6 ~ 270 Pa。
最大样品尺寸与高度:直径200mm; 80mm(工作距离(WD)=10mm)。
探测器:二次电子探测器、高灵敏度固定背散射电子检测器。
多种控制方式:鼠标、键盘,轨迹球,旋钮板。