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扫描式电子显微镜

  • 制造厂商:日本日立
  • 购置日期:2012-01-19
  • 型号:Hitachi S3400N
  • 生产国别:日本
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仪器详情
  • 功能/应用范围: 材料的表面形貌观察,成分以及晶粒尺寸取向分析
  • 主要附件: 能谱仪EDS 背散射衍射EBSD
  • 主要技术指标: 二次电子(SE)分辨率:3.0nm (30kV),高真空模式;10nm (3kV),高真空模式。 背散射电子(BSE)分辨率:4.0nm (30kV),低真空模式。 放大倍率:×5 ~ × 300,000。 加速电压 0.3 ~ 30 kV 。 低真空范围:6 ~ 270 Pa。 最大样品尺寸与高度:直径200mm; 80mm(工作距离(WD)=10mm)。 探测器:二次电子探测器、高灵敏度固定背散射电子检测器。 多种控制方式:鼠标、键盘,轨迹球,旋钮板。