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超高真空低温扫描探针显微镜系统
- 制造厂商：德国Omicron公司
- 购置日期：2002-03-01
- 型号：UHV-SPM
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： （1）多组份金属，半导体和介质薄膜的分子束外延生长，并可运用LEED，AES 和STM对样品进行原位表征和分析。 （2）纳米材料，如纳米薄膜，纳米线，量子点的生长和制备；原子和分子操纵；纳米功能器件，如单原子/分子晶体管，单分子开关的制作。 （3）与量子效应相关的基础研究。
- 主要附件：
- 主要技术指标： 该系统由分子束外延（MBE）样品制备室、表面分析室和低温STM室三个超高真空（可达1.0 x10-10 mbar）腔体组成。（1）MBE样品制备室：装备了三个电子束蒸发源(EFM3)，一个离子溅射枪和LN2冷却罩。（2）表面分析腔体：含有室温STM，AFM（contact mode, non-contact mode）功能，并可配备低能电子束衍射LEED、俄歇电子能谱AES等表面分析装置。（3）低温STM腔体：可在室温，77K，5K下进行STM工作。
- 技术特色： 可以在室温、液氮温度、液氦温度下，研究固体材料表面形貌，晶格原子排列，纳米尺度下的电学、力学特性等
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