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闳康技术检测(上海)有限公司闳康技术检测(上海)

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聚焦离子束显微镜

  • 制造厂商：FEI（原MICRO)
  • 购置日期：2009-04-13
  • 型号：Vectra 986
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 1. 定点切割(Precision Cutting) 2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation) 3. IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification) 4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis) 5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morphology Observation) 6. GDS自动导航线路定位 (Auto-N
  • 主要附件： Source gun: W,XeF2,Br2,I2,SiO2
  • 主要技术指标： 加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm
  • 技术特色： 积多年实际操作经验