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卡梅卡4F二次离子质谱仪
- 制造厂商:CAMECA INC.
- 购置日期:2009-02-06
- 型号:IMS 4F
- 生产国别:
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- 功能/应用范围: 主要应用于半导体材料的掺杂物和杂质的表面分析和深度剖析。其为测小于230质量单位的离子质谱仪.
- 主要附件: O源,Cs源
- 主要技术指标: 用于正离子的O2+ 一次离子束
1E17 (286) Cr 3E11 (0.01)
5E11 (0.003) Mn 5E12(0.2)
1E12 (0.008) Fe 1E13 (0.4)
5E11 (0.001) Ni 1E14 (4)
1E12(0.02) Cu 1E14 (4)
5E12 (0.1) Zn 1E15 (6)
2E12(0.05) Mo 1E14 (7)
5E12 (0.15) In 1E13 (0.8)
1E12 (0.03) W 5E13 (7)
用于负离子的Cs+ 一次离子束
H
- 技术特色: SIMS以及极高的检测灵敏度广泛应用与半导体、太阳能、LED、IIVI等领域,主要用于分析超微量杂质及其分布。