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苏州华碧微科苏州华碧微科

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扫描俄歇微探针

  • 制造厂商:PHI
  • 购置日期:2008-10-22
  • 型号:PHI 660
  • 生产国别:
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仪器详情
  • 功能/应用范围: 主要应用于固体材料的成份,特别是微纳区域的表面与结构分析(线扫描,面扫描,深度剖析,成像)。
  • 主要附件: 电子能谱仪
  • 主要技术指标: 检测范围:原子序数大于He的所有元素 检测极限:0.1 at% 信息深度:0.5~5 nm 空间分辨率:25 nm 能量分辨率≤0.3% 半定量:相对原子灵敏度因子法
  • 技术特色: 对样品表面的某些点的元素成分,采用离子溅射的方法,测量元素浓度与样品深度的函数关系。