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扫描俄歇微探针
- 制造厂商:PHI
- 购置日期:2008-10-22
- 型号:PHI 660
- 生产国别:
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- 功能/应用范围: 主要应用于固体材料的成份,特别是微纳区域的表面与结构分析(线扫描,面扫描,深度剖析,成像)。
- 主要附件: 电子能谱仪
- 主要技术指标: 检测范围:原子序数大于He的所有元素
检测极限:0.1 at%
信息深度:0.5~5 nm
空间分辨率:25 nm
能量分辨率≤0.3%
半定量:相对原子灵敏度因子法
- 技术特色: 对样品表面的某些点的元素成分,采用离子溅射的方法,测量元素浓度与样品深度的函数关系。