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PVD,CVD用工艺气体供气系统设备

  • 制造厂商：液化空气上海有限公司
  • 购置日期：2011-04-12
  • 型号：PVD,CVD用
  • 生产国别：中国
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 用于ULVAC PE-CVD、PVD设备工艺气体的供给
  • 主要附件：
  • 主要技术指标： 无
  • 技术特色： 无