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激光平面度移相干涉仪

  • 制造厂商：Zygo公司
  • 购置日期：2012-03-29
  • 型号：GPI-XP/D''4''
  • 生产国别：中国
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： GPI？ XP/D激光干涉仪--运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。
  • 主要附件：
  • 主要技术指标： 测量光束直径（口径）：102mm;？氦-氖激光（波长632.8nm）;系统精度：平面为:λ/20
  • 技术特色： 无