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激光平面度移相干涉仪
- 制造厂商:Zygo公司
- 购置日期:2012-03-29
- 型号:GPI-XP/D''4''
- 生产国别:中国
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- 功能/应用范围: GPI? XP/D激光干涉仪--运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。
- 主要附件:
- 主要技术指标: 测量光束直径(口径):102mm;?氦-氖激光(波长632.8nm);系统精度:平面为:λ/20
- 技术特色: 无