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磁控溅射离子镀膜机

  • 制造厂商:无
  • 购置日期:2014-12-25
  • 型号:DXP-650
  • 生产国别:中国
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仪器详情
  • 功能/应用范围: DXP650 系列镀膜设备是采用物理气相沉积技术(PVD)进行薄膜镀层的系统,该系统可以在低温条件下沉积致密镀层,优化沉积层的状况,使其具有高致密度、高硬度及优异的结合强度等特点,它也可以很容易地沉积性能优异的复合或纳米多层镀层。
  • 主要附件:
  • 主要技术指标: 1. 工作相对湿度:<75% RH;2. 冷却水压(15-25℃):0.3-0.4 MPa 20L/min;3. 压缩空气: 0.6-0.7 MPa;4. 工艺气体压力:15-20 Psi;5. 电力要求:380V AC 3相 ≥65A
  • 技术特色: 无