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暴光机
- 制造厂商：UPTIC ASSDCIATION
- 购置日期：2006-12-27
- 型号：*
- 生产国别：中国
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- 功能/应用范围： 500型系列掩膜对准器设计的功能是用于完成精确的基板跟掩膜的对准和在许多类型材料上的曝光。500型系列暴光机主要用于需要高分辨率的印刷和高精确的配准。 500型系列暴光机是半自动的仪器，其使用一个可编程的控制器来简化操作，操作仅需几个键来完成。
- 主要技术指标： 可满足基片尺寸：小尺寸至8英寸的圆片或方片；线宽精度：1微米；套刻精度：0.2微米；UV光源波长：365nm与405nm；
- 技术特色： 无
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