基本信息

非硅微纳规模制造技术作为微纳制造技术的两大途径之一，已在许多微纳机电系统中得到普遍应用，在传统产业升级改造和新产品创新设计将会发挥关键支撑作用。平台承担单位上海交通大学经过几十年的积累，在非硅微纳规模制造技术与应用方面已形成一定的学科规模与优势。在上海市科委公共研发平台建设经费的支持下，自2011年起开始整合已有资源，建设一个具有先进水平的非硅微纳规模制造软硬件共享服务平台，意在解决我国特别是上海市工农业生产和国防科研过程中遇到的多数非硅微纳制造技术实际疑难问题，为相关的企业和机构提供高水平的非硅微纳制造技术服务。既实现面向非硅微纳制造技术与测试应用服务这一导向的服务体系，又能开展各类与非硅微纳制造技术相关的高水平研究。经过努力建设，已基本实现各项目标，通过整合微米纳米加工技术国家级重点实验室和薄膜与微细技术教育部重点实验室的人员、技术和设备资源，完成了以金属基材料为主、多种材料兼容和生物兼容材料的两条微纳规模化制造中试工艺线的软硬件条件建设，完善设备和服务配套，建设开放服务平台，完成了示范验证，从而建成了由非硅微纳制造技术资讯平台、非硅微纳规模制造关键技术、非硅微纳制造技术技术培训、非硅微纳制造技术咨询服务等服务体系。